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  • 工商時報【涂志豪╱台北報導】

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    林本堅去年底自台積電退休後,許多大學都紛紛登門拜訪,希望能延攬半導體界的「國寶」。清大早在去年中就已經透過「侯金堆講座」極力爭取林本堅加入清大研究團隊,終於獲得他的首肯。

    林本堅表示,他原規畫退休之後,只做兩件事,就是傳福音及幫助人得到更豐富的生命,後來一想,教書也是幫助人得到豐富生命的好方法。林本堅說,「我在產業界服務了46年,學到很多,也希望能教給下一代。除了教導專業知識外,我更希望能激發學生創意,教導他們解決問題以及團隊合作的能力。」

    過去半導體晶片製程主要採用乾式曝光,以空氣為鏡頭和晶圓之間的介質,林本堅創全球之先提出的浸潤式微影技術,則是以水為介質,在鏡頭和晶圓之間注入水,光的波長在水中縮短為134奈米,得以刻出更精密的晶片,這項創新也改寫了半導體業十幾年來的發展藍圖。

    清華大學電機系主任徐碩鴻說,林本堅院士是改寫半導體歷史的巨擘,也是光學微影技術的先驅者,清華大學能夠延攬到這位謙虛又樂意傳授的國際人才任教,非信貸資訊常榮幸。

    清華大學光電所自林本堅信用不良信貸加入研究團隊後,已舉辦3場「林本堅院士學術沙龍」,邀請林本堅與清華教授討論光電領域發展以及微影製程研究。林本堅表示,清華光電所教授們的研究題目有些讓他很有興趣,希望未來能與教授合作,協助教授研究發展。

    林本堅曾任職於IBM在美國的研究中心,在IBM工作22年後,林本堅選擇在美國自行創業將近10年。之後在台積電力邀下,林本堅於2000年加入台積電,並在2002年開始推動浸潤式微影技術,此項技術對全球半導體產業及台積電先進製程貢獻極大。

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    工商時報【涂志豪╱台北報導】

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    林本堅去年底自台積電退休後,許多大學都紛紛登門拜訪,希望能延攬半導體界的「國寶」。清大早在去年中就已經透過「侯金堆講座」極力爭取林本堅加入清大研究團隊,終於獲得他的首肯。

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    彭政閔

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